掃描電鏡廣泛用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領(lǐng)域，進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。
一.產(chǎn)品介紹
1.產(chǎn)品簡介
蔡司Sigma300電子掃描顯微鏡是一款利用成熟的Gemini電子光學元件，將的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合的儀器。具有多種探測器可選，用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。
高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡，配備能譜分析，主要用于觀察、分析和記錄材料的微觀形貌;以及可以通過配備EDS能譜儀進行材料元素的成分分析;并通過光電附件可以實現(xiàn)光電聯(lián)用操作，實現(xiàn)微米級的聯(lián)合定位查找，配置ups(延時30分鐘)。
2.產(chǎn)品特點及優(yōu)勢
?、匐娮邮肼曒^小<1%
電子束噪聲越小，拍攝圖片信噪比越高，圖片質(zhì)量越好
?、谑鞣€(wěn)定度優(yōu)于0.2%/h
蔡司電鏡具有全球*佳的束流穩(wěn)定度，能為用戶提供*的成分分析結(jié)果，特別是對能譜儀大面積掃描以及波譜儀的分析工作非常重要
③同級別*高分辨率(納米級)，三維立體效果好，掃描電鏡圖像景深大(附真實拍攝效果)
GEMINI鏡筒--ZEISS場發(fā)射電鏡由于其獨特的鏡筒設(shè)計(GEMINI鏡筒)，具有無與倫比的成像能力,無交叉光路設(shè)計,無Boersch(柏旭)效應(yīng)
?、芫C合分析能力強
可安裝多種附件(如能譜儀)，分別檢測不同的信號，可以分析成分，含量以及分布
3.主要參數(shù)
★①分辨本領(lǐng)(非減速模式)
二次電子像分辨率(蔡司軟件算法標準)：1.0 nm (15 kV) 1.6 nm (1kV)
★②電子源加速電壓
0.02kV ～ 30 kV(無需減速模式實現(xiàn))，步進10V，連續(xù)可調(diào)
③探針電流
4 pA～20 nA，束流穩(wěn)定性≤0.2%/h
★④放大倍數(shù)
范圍：10～1,000,000×
放大倍數(shù)調(diào)整：粗、細調(diào)模式連續(xù)可調(diào)
還具有預(yù)設(shè)定，自動補償和校準等校正放大倍數(shù)的功能
★⑤電子光學系統(tǒng)
5.1電子發(fā)射源：肖特基熱場發(fā)射非浸沒式電子源
★5.2電磁/靜電式透鏡匯聚系統(tǒng)，有效地提高了分辨率(特別是低電壓下的分辨率)，可在小于 1mm 的工作距離條件下高分辨觀察磁性材料，圖像無變形
5.3聚焦：工作距離：0mm～50mm
控制：具有與靈敏度與放大倍數(shù)相關(guān)的粗調(diào)和細調(diào)
還具有自動聚焦控制，聚焦補償，動態(tài)聚焦，旋轉(zhuǎn)補償，傾斜補償?shù)榷喾N功能
5.4消像散器：八極電磁式系統(tǒng)
5.5光闌：數(shù)量：不少于7個
調(diào)整：電磁選擇和軟件調(diào)整
5.6掃描
掃描速率：配置16級掃描速度，從11幀/秒～42分/幀(50 ns/像素～1.64 ms/像素)掃描方式：全幀、選區(qū)、定點、線掃描、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜補償
5.7電子束位移：不小于15μm
★⑥樣品室
★6.1樣品室尺寸：365mm(直徑)x 275mm(高)
6.2樣品置換時間(抽真空時間)：不大于5分鐘
6.3附件接口：具備十個附件接口，可同時接X射線能譜、背散射電子探測器等
★6.4樣品臺：配置五軸優(yōu)中心馬達驅(qū)動樣品臺，抽屜式拉門，雙操縱桿控制盒，移動*大范圍同時滿足以下指標：X≥120mm，Y≥120mm，Z≥40mm，雙向傾斜，傾斜范圍≥70°，旋轉(zhuǎn)≥360°(連續(xù)旋轉(zhuǎn))樣品臺移動精度：≤2μm
★6.5可放置的*大樣品尺寸：直徑不小于240mm，高度不小于140mm
★6.6樣品臺水平移動*大允許承載樣品重量：不大于5kg
★⑦探測器
★7.1探測器類型
鏡筒內(nèi)(In-lens)環(huán)形二次電子探測器
樣品室二次電子探測器
背散射電子探測器
CCD攝像機
7.2控制
自動對比度/亮度
手動對比度/亮度
?、嘈盘栠x擇
二次電子信號、背散射電子信號等，任何二個通道信號都可進行混合，以獲取更佳的圖像效果
★⑨圖像顯示
★9.1圖像掃描儲存分辨率大于等于32k(橫向)×24k(縱向)像素
9.2顯示分辨率：1024 x768像素
9.3降噪處理：像素平均、連續(xù)平均、幀和行疊加
9.4具有數(shù)據(jù)區(qū)、狀態(tài)顯示、圖像注釋和測量功能可在Windows支持的外部設(shè)備上存儲及打印圖像
?、怆婄R專用電腦操作鍵盤
具有一體化設(shè)計的旋鈕式多功能控制面板并集成電腦鍵盤，可調(diào)整電子束聚焦、放大倍數(shù)、消像散、電子束對中、掃描旋轉(zhuǎn)、電子束位移等，方便操作
?顯示器
24"液晶顯示器
★?真空系統(tǒng)全自動控制
樣品室極限真空度：優(yōu)于2.0×10-4Pa
★?能譜35°出射角，工作距離小于等于8.5mm
?光、電鏡聯(lián)用
未來可以通過此附件進行光電鏡設(shè)備鏈接，可以實現(xiàn)記憶全部特征點，在電鏡和光鏡不同分析設(shè)備中進行全自動快速定位，準確再現(xiàn)同一樣區(qū)域，在*短的時間得到*準確的結(jié)果
?其他附件
ups穩(wěn)壓電源(延遲30分鐘)
電制冷牛津40mm2能譜儀
★為重點參考項
二.安全使用規(guī)范
1.設(shè)備使用
★①設(shè)備的電源一定要確保持續(xù)和穩(wěn)定
儀器使用結(jié)束后按“STANDBY”黃色按鈕，禁止按紅色“OFF”按鈕。每次使用結(jié)束后只需關(guān)閉電腦顯示器電源
?、诋斣O(shè)備出現(xiàn)短路，起火等重大緊急故障時，切斷設(shè)備電源和ups電源
③操作移動樣品臺時，一定要在TV模式下進行，確保其不會撞到探頭
④觀測過程中，不要誤觸左側(cè)操作桿，以免樣品高度和傾斜度發(fā)生變化，損害鏡頭和探測器
?、蓍_關(guān)倉門時必須輕推輕拉，避免撞擊，震動損害探測器
?、迾悠芬欢ㄒ潭ㄔ跇悠放_上，樣品高度應(yīng)基本一致，樣品表面平整，樣品大小，重量不得超過規(guī)格
★⑦不允許放入液體，有機，生物，不耐熱，熔融蒸發(fā)，松動粉末或碎屑等有揮發(fā)物樣品
?、鄻悠放_要固定在樣品室基座上，無晃動
?、針悠酚^測結(jié)束一律將高壓關(guān)掉“EHT OFF”，否則影響燈絲壽命
?、饣厥諛悠窌r，取出樣品后必須抽真空，否則會增加抽真空的時間和難度
?使用結(jié)束后關(guān)閉氮氣瓶，重新設(shè)定的參數(shù)復(fù)原
★?數(shù)據(jù)刻錄一定要用實驗室提供的光盤專門在此機器上刻錄，禁止使用在其他機器上刻錄過的光盤，禁止使用U盤和移動硬盤
2.樣品制備
★①不導電樣品要先噴金處理
②樣品在高真空中能保持穩(wěn)定
★③樣品不含水分或其他易揮發(fā)物，否則應(yīng)先烘干去除
?、鼙砻媸艿轿廴镜臉悠窇?yīng)適當清洗，烘干;某些樣品應(yīng)適當侵蝕再清洗，烘干
⑤樣品高度應(yīng)基本一致，樣品表面平整，樣品大小，重量不得超過規(guī)格
塊狀樣品
導電塊狀樣品，用導電膠將樣品粘結(jié)在樣品臺上即可
不導電塊狀樣品，預(yù)先噴金處理
粉末樣品
事先粘結(jié)在樣品臺上(導電膠法)，用吸耳球?qū)⑽凑匙〉姆勰┐等?，不導電樣品粘牢后需噴金再觀察
