要獲得一張清晰的電鏡照片，必須要能夠做好最基本的電鏡操作、以及針對各種樣品做出工作條件的優(yōu)化?；静僮靼ㄊ炀毜恼{節對焦和消像散。對焦相對容易，改變焦距，直至圖像最清楚的時(shí)刻即為合焦。在偏離焦距較多的時(shí)候可以用較高的靈敏度，在合焦點(diǎn)附近調低靈敏度，以便進(jìn)行對焦?；静僮髦邢裆⑾鄬?lái)說(shuō)比較麻煩，特別是像散很大時(shí)，對于很多初學(xué)者來(lái)說(shuō)調節比較困難。不過(guò)前面已經(jīng)介紹了像散的產(chǎn)生，電子束由于不再是圓形，所以在像散未消除的情況下，圖像是不清晰的。不過(guò)其中有兩個(gè)特殊的位置，即光學(xué)中的子午和弧矢，在這兩個(gè)位置上束斑完全成正交的直線(xiàn)。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。
圖1. 弧矢、子午和明晰圓對應的圖像
所以反映在電鏡圖像上，改變焦距的時(shí)候會(huì )出現兩個(gè)嚴重的拉伸，拉伸方向可能因樣品而不同，但是這兩個(gè)拉伸方向一定正交。所以此時(shí)將焦距調節至兩個(gè)拉伸明顯狀態(tài)的中間位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，進(jìn)行消像散線(xiàn)圈的調節，先調X或Y中的一個(gè)維度，待圖像達到最清楚后再調節另一個(gè)維度。
有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難，試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據，比如孔洞或者顆粒(如圖5-2)，或者樣品邊緣(如圖5-3)，都可以輕易的進(jìn)行判斷。尤其在像散比較大時(shí)，不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調一氣，以免像散過(guò)大而完全無(wú)從判斷。
圖2. 孔洞、顆粒的像散判斷
圖3. 邊界的像散判斷
消像散、對焦是掃描電鏡操作中最基本的要求，在進(jìn)行圖像觀(guān)察時(shí)要時(shí)刻保持合焦和無(wú)像散的狀態(tài)。
