高效率、高質(zhì)量地完成樣品制備
TEM薄片制備對于幾乎每一位雙束電鏡用戶顯得至關(guān)重要。蔡司為特定位置的樣品制備提供自動化工作流程，加工所得薄片適用于原子級別的高分辨率TEM和STEM成像和分析。導(dǎo)航到樣品的感興趣區(qū)域(ROI)，為您從大塊樣品中提取包括感興趣區(qū)域(ROI)在內(nèi)的TEM薄片，以進(jìn)行大體積切割或挖槽，并在適當(dāng)?shù)奈恢眠M(jìn)行提取和減薄。
導(dǎo)航到您的感興趣區(qū)域。導(dǎo)航到您的感興趣區(qū)域
1. 自動導(dǎo)航到樣品的感興趣區(qū)域(ROI)
無需耗時搜索感興趣區(qū)域(ROI)即可開始工作流程
使用交換艙內(nèi)的導(dǎo)航攝像頭定位樣本
集成的用戶界面可以輕松導(dǎo)航到您的感興趣區(qū)域(ROI)
讓您受益于SEM的大型、無失真視場
2. 自動樣品制備(ASP)可從大塊樣品中制備薄片
通過簡單的三步流程開始制備
定義配方，包括漂移校正、沉積以及粗磨和細(xì)磨
FIB鏡筒的離子光學(xué)器件可實現(xiàn)高通量工作流程
復(fù)制配方并根據(jù)要求重復(fù)操作，以開始批量制備
3. 提取薄片
裝入顯微操作器并將薄片連接到其
從大塊樣品上切下薄片
然后可以提取薄片并可以運送到TEM網(wǎng)格
4. 減?。鹤詈笠徊胶荜P(guān)鍵，因為它決定了您的TEM薄片質(zhì)量
該儀器的設(shè)計使您能夠?qū)崟r監(jiān)測減薄過程，獲得所需薄片厚度
同時使用兩個監(jiān)測器信號來判斷薄片厚度，一方面您可獲得可重復(fù)制作的最終厚度(使用SE探測器)，一方面您可控制表面質(zhì)量(使用Inlens SE探測器)
制備高質(zhì)量樣品，其非晶化可忽略不計
