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SEM掃描電鏡中的能譜EDX是如何工作的

分類(lèi):公司新聞 發(fā)布時(shí)間:2023-01-31 18488次瀏覽

  掃描電子顯微鏡(SEM)利用電子束從納米尺度的樣品中獲取信息。所檢測到的主要...

  掃描電子顯微鏡(SEM)利用電子束從納米尺度的樣品中獲取信息。所檢測到的主要信號類(lèi)型是背散射電子(BSE)和二次電子(SE),它們在高倍率下生成樣品的灰度圖像。

  然而,還有許多其他的電子與樣品表面物質(zhì)相互作用的產(chǎn)物——這些信號可以提供關(guān)于樣品的額外信息。在這篇推文中,我們將闡述掃描電鏡中的能譜(EDX)是如何工作的。

  電子 — 與樣品表面的相互作用

  入射電子與樣品表面的物質(zhì)相互作用產(chǎn)生了各種各樣的信號,這些信號攜帶了關(guān)于樣品的不同信息 (圖1)。例如,背散射電子產(chǎn)生的圖像與原子序數的差異有關(guān); 二次電子給出了形貌細節信息,陰極發(fā)光可以提供關(guān)于電子結構和材料化學(xué)成分的信息; 透射電子可以描述樣品的內部結構和晶體學(xué)。在掃描電鏡中廣泛使用的另一種信號是X射線(xiàn)。

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  圖1:電子物質(zhì)相互作用中產(chǎn)生不同信號的例證

  掃描電鏡中能譜的原理每個(gè)原子都有一個(gè)獨特的電子數,它們在特定位置的正常條件下存在,如圖2所示。這些位置屬于特定的軌道,它們擁有不同的、離散的能量。

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  SEM中X射線(xiàn)的生成一共有兩個(gè)步驟。

  在步中,電子束撞擊樣品并將部分能量轉移到樣品的原子上。這種能量可以被原子的電子用來(lái)“跳躍”到具有更高能量的能量軌道,或者是脫離原子。如果發(fā)生這樣的轉變,電子就會(huì )留下一個(gè)空位??瘴幌喈斢谝粋€(gè)正電荷,在這個(gè)過(guò)程的第二步,空位會(huì )吸引來(lái)自高能量軌道的電子填補進(jìn)來(lái)。當這樣一個(gè)高能量軌道的電子填滿(mǎn)了低能量軌道的空位時(shí),這種轉換的能量差可以以X射線(xiàn)的形式釋放出來(lái)。X射線(xiàn)的能量是通過(guò)這兩個(gè)軌道之間能量差的特征所展現出來(lái)的。

  它取決于原子序數,是每個(gè)元素的屬性。所以,X射線(xiàn)是每個(gè)元素的“指紋”,可以用來(lái)識別樣品中存在的元素的類(lèi)型。

  X射線(xiàn)生成過(guò)程:1)將能量轉移到原子電子上,使其脫離生成一個(gè)空位,2)空位由更高能量的另一個(gè)電子填充,并釋放出X射線(xiàn)。

  EDX能譜分析:X射線(xiàn)如何工作

  與BSE,SE和TE不同,X射線(xiàn)是電磁輻射,就像光一樣,由光子組成。為了檢測它們,最新的系統使用了硅漂移探測器(SDD)。由于其具有更高的計數率、更好的分辨率和更快的分析能力,都優(yōu)于傳統的Si(Li)探測器。這些探測器被置于一個(gè)特定角度,非常接近樣品,并且有能力測量X射線(xiàn)的光子能量。探測器與樣品之間的立體角越高, X射線(xiàn)檢測概率越高,因此獲得更佳結果的可能性也越大。

  典型的EDX光譜:y軸描述X射線(xiàn)數量,x軸是X射線(xiàn)的能量。峰的位置是對元素的識別,峰高有助于對樣品中各元素濃度的量化。

  由EDX分析產(chǎn)生的數據包含了樣品中所有不同元素對應的峰值的光譜。在圖3中可以看到,每一個(gè)元素都有獨特能量的特征峰。

  此外,EDX可以用于定性(元素的類(lèi)型)以及定量(樣本中每個(gè)元素的濃度百分比)的分析。在大多數SEM中,專(zhuān)用軟件可以自動(dòng)識別峰值,并計算檢測到的每個(gè)元素的原子百分比。EDX技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是,它是一種非破壞性的表征技術(shù),需要很少或不需要樣品的制備。


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