1.設(shè)備名稱：場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

　　2.型號(hào)：Merlin Compact

　　3.配件：X射線能譜儀(Xflash/30);氬離子拋光系統(tǒng)(685.C)

　　4.制造廠家：德國(guó)蔡司

　　5.功能及用途

　　場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡可對(duì)樣品實(shí)現(xiàn)超高分辨率的微觀形貌觀察，配備了安裝在鏡筒內(nèi)正光軸上的環(huán)形二次電子(In-lens)和能量選擇背散射式In-lens Duo探測(cè)器，帶有能量過(guò)濾柵網(wǎng)，可分別獲得二次電子或背散射電子圖像，在低電壓下，其二次電子和背散射電子均具有卓越的分辨能力;樣品室二次電子探測(cè)器;角度選擇背散射電子探測(cè)器(AsB);X射線能譜儀(EDS);紅外CCD相機(jī)。通過(guò)接收特征X信號(hào)，能快速進(jìn)行樣品元素高精度的點(diǎn)、線、面掃描分析。利用氬離子拋光系統(tǒng)(配備有液氮冷臺(tái))對(duì)樣品進(jìn)行扇形截面(扇形角度為10到90度可調(diào))和平面拋光，可實(shí)現(xiàn)對(duì)頁(yè)巖納米孔隙的觀測(cè)。

　　6.主要技術(shù)指標(biāo)

　　a.分辨率：0.8 nm@15kV;1.6nm@1kV。

　　b加速電壓范圍：20V-30kV，以10V步進(jìn)連續(xù)可調(diào)。

　　c.放大倍數(shù)范圍：12x-2,000,000x，高倍率與低倍率連續(xù)調(diào)。

　　d.探針電流：范圍5pA-20nA。

　　e.可分析元素范圍：Be4-Am95。

　　f.能量分辨率：優(yōu)于129eV(Mn K);F元素K峰優(yōu)于62eV;C元素K峰優(yōu)于54eV。