掃描電子顯微鏡EBSD可以用來鑒定材料中主要的物相和次要的物相。包括識(shí)別金屬間化合物相、第二相、處理后材料的析出物和自然材料中的礦物組成等。
除了確定未知相，EBSD的另一個(gè)好處是將這些物相的空間分布可視化。這一點(diǎn)非常重要，例如，可以觀察第二相是在晶粒內(nèi)還是晶界出現(xiàn)。
通常EBSD可以區(qū)分不同晶體結(jié)構(gòu)的相，EDS可以顯示化學(xué)成分。用一個(gè)復(fù)雜的分析系統(tǒng)將這兩個(gè)系統(tǒng)的結(jié)果結(jié)合起來，便可以識(shí)別和區(qū)分未知的相或化合物。
物相鑒定(識(shí)別一個(gè)未知的物相)
如果EBSD和EDS系統(tǒng)以合適的幾何位置，集成安裝在掃描電鏡上，就可以將電子束對(duì)焦在每個(gè)潛在的物相上，同時(shí)獲得EBSD花樣和EDS。系統(tǒng)可以在晶體結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)庫中，搜索匹配EDS測(cè)定的相成分，返回一個(gè)備選的物相列表。對(duì)列表中每個(gè)物相，再利用EBSD花樣來標(biāo)定，從而識(shí)別物相。
物相區(qū)別(區(qū)分物相)
當(dāng)材料中有多個(gè)已知相，EBSD可以用于區(qū)分這些相。因此，可以確定各個(gè)相的空間分布和相含量.
電子束與樣品表面的晶體結(jié)構(gòu)作用時(shí)產(chǎn)生衍射花樣。電子背散射衍射花樣(EBSP)攜帶有產(chǎn)生該花樣處的晶體的結(jié)構(gòu)信息。通過分析電子背散射衍射花樣(EBSP)，我們不僅可以獲得晶體取向信息，也可能獲得區(qū)分不同晶體結(jié)構(gòu)的信息，從而區(qū)分相.
通常情況下，通過分析檢測(cè)帶間的夾角來分析電子背散射衍射花樣。如果只使用這個(gè)信息，那么可以區(qū)別具有不同單胞結(jié)構(gòu)的相，只要晶胞結(jié)構(gòu)差別足夠明顯，那么晶面間的角度就是不同的。
如果采用更的程序，從電子背散射衍射花樣中可以提取到更多的信息(比如衍射帶寬度)，那么就可以區(qū)分具有相同晶體結(jié)構(gòu)但晶格參數(shù)不同的相。然而，這種方法有一定的局限性，因?yàn)殡娮颖成⑸溲苌浠拥牟町愐煽康貦z測(cè)到，需要晶格參數(shù)差異足夠大。
