1. 打開AZtec軟件
WD=8.5 mm，3-7kV ,輸出計數(shù)率>1000
2. 建項目，保存原數(shù)據(jù)(最重要的一步)
【文件】-【保存項目】或【新項目】。以 【日期+EDS】命名，位置為【D盤】所屬學院和導師姓名
3. 樣品描述
保存項目后，自動創(chuàng)建樣品1和區(qū)1，右擊樣品1可重命名。
更換樣品時，選擇【+新樣品】
4. 選擇測試類型
軟件左上角下拉鍵里選擇點掃(point&ID)，線掃描和面掃
5. 掃描圖像
確定測試類型后，點擊【開始】
在同一樣品的不同區(qū)域或同一樣品相同區(qū)域做不同EDS測試時，先點【新區(qū)】，然后點【開始】傳圖像
注意：(1)傳圖像時電鏡必須是掃描狀態(tài)，不能為拍照freeze狀態(tài)
(2)留意軟件下方 輸出計數(shù)率>1000時EDS數(shù)據(jù)才準確有效
(3) EDS測試時，WD在8.5 mm左右效果較佳
6. 點掃
選擇【采集圖譜】，鼠標直接選擇待測點或待測矩形區(qū)域，選區(qū)后軟件會自動進行譜圖測試
7. 元素確認
切換到確認元素界面，點擊Auto ID，
或手動選擇元素，雙擊元素周期表中想選的元素，變綠則選上
如果不想要，再雙擊變紅則去掉
8. 計算成分
切換到計算成分，點擊【編輯列】，勾選【At%】,然后去掉定量結(jié)果表
9. 點掃數(shù)據(jù)輸出
點擊右上角【輸出報告】，在對應reports文件夾保存word數(shù)據(jù)
如果測量結(jié)束后想自己重新繪制譜圖，可以導出譜圖原始數(shù)據(jù)。右擊對應點的譜圖空白處，找到【導出】，選擇【EMSA】。SMSA導出的圖譜的text格式文件
面掃(面分布圖)
?、傧葤呙鑸D像，然后選擇采集分布圖數(shù)據(jù)，點擊【開始】
?、邳c擊開始后，在構建分布圖數(shù)據(jù)界面，可以確認元素(按第7步操作)，更換單個元素顏色，查看質(zhì)量/原子百分比
③當面掃綠條過半時，在采集分布圖數(shù)據(jù)界面單擊停止，系統(tǒng)會掃描完這一編后停止;雙擊停止，系統(tǒng)會立刻停止面掃描。結(jié)合自身測試需求，選擇掃描幾遍。(一般3遍)
11. 面掃數(shù)據(jù)輸出
(1)點擊右上方的【輸出報告】，在相應的reports文件夾里保存word文檔
(2)切換到點掃界面，重復步驟【8】，然后點擊右上方的【輸出報告】，此報告有面掃區(qū)域的各個元素的平均質(zhì)量百分比和原子百分比
(3) 如果想要單個元素的面掃圖片，可以右擊圖片，找到導出，選擇TIFF格式
12. 線掃描
(1)先掃描圖像，然后選擇采集先掃描數(shù)據(jù)，用鼠標話一條直線，點擊【開始】
(2)點擊開始后，在構建掃描數(shù)據(jù)界面，可以確認元素(按第7步操作)，在直線上方設置里更換單個元素顏色
(3)當線掃綠線過半時，在采集分布圖數(shù)據(jù)界面單擊停止，系統(tǒng)會掃描完這一編后停止;雙擊停止，系統(tǒng)會立刻停止面掃描。結(jié)合自身測試需求，選擇掃描幾遍。(一般3遍)
13. 線掃描數(shù)據(jù)輸出
(1)點擊右上方的【輸出報告】，在你選擇項目的reports文件夾里保存word文檔
(2) 切換到點掃界面，重復步驟【8】，點擊右上方的【輸出報告】，此報告有整條直線的各個元素的平均質(zhì)量百分比和原子百分比
(3)如果想自己繪制線掃描曲線，顯示旁邊的下拉欄選擇【表】，Ctrl+A 全選，Ctrl+C復制所有數(shù)據(jù)，然后打開桌面下方的excel，復制、粘貼、保存數(shù)據(jù)。
