FIB雙束掃描電鏡系統(tǒng)就是把FIB系統(tǒng)和傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡系統(tǒng)按一定的角度同時裝在一個裝置上，把試樣調(diào)節(jié)到共心高度位置。這就使得試驗(yàn)時可通過轉(zhuǎn)動試樣臺使試樣表面與電子束或者離子束垂直，從而最終達(dá)到對電子束進(jìn)行實(shí)時觀測和對離子束進(jìn)行切割或者微加工等效果。

　　FIB-SEM雙束掃描電鏡功能及應(yīng)用

　　1、FIB-SEM的主要功能包括:

　　①電子束成像，用于定位樣品、獲取微觀結(jié)構(gòu)和監(jiān)測加工過程;

　?、陔x子束刻蝕，用于截面觀察和圖形加工;

　?、蹥怏w沉積，用于圖形加工和樣品制備;

　?、茱@微切割制備微米大小納米厚度的超薄片試樣(厚度小于<100 nm)，用于后續(xù)的TEM和同步輻射STXM等相關(guān)分析;

　?、蒿@微切割制備納米尺寸的針尖狀樣品，用于后續(xù)的APT分析，獲取其微量元素和同位素信息;

　　⑥綜合SEM成像、FIB切割及EDXS化學(xué)分析，對試樣進(jìn)行微納尺度的三維重構(gòu)分析等。

　　2、FIB-SEM的主要應(yīng)用：

　　①微納結(jié)構(gòu)加工;

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　　③TEM樣品制備;

　?、苋S原子探針樣品制備;

　　⑤芯片修補(bǔ)與線路修改;

　?、薰饪萄谀ぐ嫘迯?fù);

　?、呷S重構(gòu)分析等。